大型真空泵的缺陷也是显而易见的，比如价格高昂、体积大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期维护，不易移动等。有的大型真空泵必须使用真空泵油或润滑油，工作中会产生油雾，对工作介质有污染。

    大型真空泵的这些不足在某些场合特别明显，它虽然真空度高，但在低真空场合反而会成为一种。以实验室来说，通常它只是需要泵对少量气体进行气体采样、气体分析、气体循环、真空吸附、气体转移、增压、间接吸水、排水等时，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺点。

    所以这种情况下还是要用微型真空泵来代替，不仅可以满足，而且体积小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于携带、免维护、可24小时连续运转，还允许介质富含水汽。重要的是，因为是干式、无油的，不需要真空泵油或润滑油，所以不会污染工作介质，不会干扰对介质的分析等等。

    随着微型真空泵在各个领域的广泛应用以及真空技术的提高，微型真空泵的性能也不断提升，所以它的应用势必也会得到进一步的推广。由此可见，不管是大型真空泵还是微型真空泵，都有它们的用武之地。